France: Machines et appareils microélectroniques
Fourniture d'un équipement de dépôt dédié au remplissage métallique de vias à basse température
Avis de marché ou de concession - régime ordinaire
1 Acheteur
1.1 Acheteur
Nom officiel : CEA Grenoble
Forme juridique de l'acheteur : Organisme de droit public Activité du pouvoir adjudicateur : Enseignement
2 Procédure
2.1 Procédure
Titre : Fourniture d'un équipement de dépôt dédié au remplissage métallique de vias à basse température
Description : Pour ses activités de recherche, qui visent à développer les technologies FDSOI 10nm et au-delà, le CEA-Leti souhaite faire l'acquisition d'un équipement dédié au remplissage métallique de vias à basse température, pour des applications mémoire, pour sa salle-blanche. L'équipement sera capable d'utiliser des wafers de 300mm et est prévu pour la déposition de film fin de tungstène à haute conformité dans des via avec un facteur de forme élevé. Le marché envisagé comprend une option à chiffrage obligatoire et quatre options à chiffrage facultatif : -Option avec chiffrage obligatoire : . Option 3 (prestation optionnelle) : Formation à la maintenance niveau 1 -Options avec chiffrage facultative : . Option 1 (fourniture optionnelle) : Échangeurs de chaleurs / refroidisseurs . Option 2 (fourniture optionnelle) : Transformateur d'alimentation électrique . Option 4 (prestation optionnelle) : Formation à la maintenance avancée . Option 5 (prestation optionnelle) : Extension de garantie d'un an
Identifiant de la procédure : 88716000-8f92-4268-b0b8-816fd55f5396.
Identifiant interne : B26-02145-CMF
Type de procédure : Négociée avec publication préalable d'un appel à la concurrence / concurrentielle avec
négociation
La procédure est accélérée : non
2.1.1 Objet
Nature principale du marché : Fournitures
Nomenclature principale (cpv): 31712100 Machines et appareils microélectroniques
2.1.2 Lieu d'exécution
Ville : Grenoble
Subdivision pays (NUTS) : Isère (FRK24)
Pays : France
Informations complémentaires : CEA/GRENOBLE / Conditions d'accès réglementées.
2.1.4 Informations générales
Informations complémentaires : Le candidat fournira notamment à l'appui de sa candidature : -le formulaire
DC1 (Lettre de candidature et désignation du mandataire par ses cotraitants) ou équivalent ; -le formulaire DC2.
- Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement), ou équivalent. Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet du Ministère de l'Economie, de l'Industrie et de l'Emploi : http://www.economie.gouv.fr/daj/
formulaires-declaration-du-candidat -la copie du ou des jugements prononcés s'il est en redressement judiciaire ou dans une procédure étrangère équivalente '. Le candidat peut présenter sa candidature sous la forme d'un
https://ted.europa.eu/TED
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document unique de marché européen (DUME), en lieu et place des documents mentionnés à l'article R.2143-3.
du code de la commande publique téléchargeable à l'adresse suivante : https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?
lang=fr. Il est interdit de cumuler les candidatures : -en tant que candidat individuel et membre d'un ou plusieurs
groupements y compris en tant que mandataire ; -en tant que membre d'un groupement et mandataire d'un autre. Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d'autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la
présentation de titres ou de l'expérience professionnelle du ou de leurs responsables. Les autres documents et
informations à fournir au titre du dossier de candidature sont précisés dans le dossier de consultation (cf. article 4.1 du règlement de consultation).
Base juridique :
Directive 2014/24/UE
2.1.6 Motifs d'exclusion
Sources des motifs d'exclusion : Document de marché
5 Lot
5.1 Lot : LOT-0001.
Titre : Fourniture d'un équipement de dépôt dédié au remplissage métallique de vias à basse température
Description : Pour ses activités de recherche, qui visent à développer les technologies FDSOI 10nm et au-delà, le CEA-Leti souhaite faire l'acquisition d'un équipement dédié au remplissage métallique de vias à basse température, pour des applications mémoire, pour sa salle-blanche. L'équipement sera capable d'utiliser des wafers de 300mm et est prévu pour la déposition de film fin de tungstène à haute conformité dans des via avec un facteur de forme élevé. Le marché envisagé comprend une option à chiffrage obligatoire et quatre options à chiffrage facultatif : Option avec chiffrage obligatoire : . Option 3 (prestation optionnelle) : Formation à la maintenance niveau 1 : Options avec chiffrage facultatif : . Option 1 (fourniture optionnelle) : Échangeurs de chaleurs / refroidisseurs. . Option 2.
- fourniture optionnelle) : Transformateur d'alimentation électrique. . Option 4 (prestation optionnelle) : Formation à la maintenance avancée, tel que décrit au paragraphe 9 du cahier des charges. . Option 5 (prestation optionnelle) : Extension de garantie d'un an.
Identifiant interne : B26-02145-CMF
5.1.1 Objet
Nature principale du marché : Fournitures
Nomenclature principale (cpv): 31712100 Machines et appareils microélectroniques
5.1.2 Lieu d'exécution
Subdivision pays (NUTS) : Isère (FRK24)
Pays : France
Informations complémentaires :
5.1.3 Durée estimée
Durée : 12 Mois
5.1.6 Informations générales
Participation réservée : La participation n'est pas réservée.
Projet de passation de marché financé en totalité ou en partie par des fonds de l'UE
Information sur les fonds de l'Union européenne
Identifiant des fonds de l'UE : FAMES -PILOT LINE
Le marché relève de l'accord sur les marchés publics (AMP) : oui
https://ted.europa.eu/TED
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Informations complémentaires : Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d'autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l'expérience professionnelle du ou de
leurs responsables. Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://
www.marchespublics.gouv.fr
5.1.9 Critères de sélection
Sources des critères de sélection : Document de marché
Informations sur la seconde étape d'une procédure en deux étapes :
Nombre minimal de candidats à inviter pour la seconde étape de la procédure : 3.
La procédure se déroulera en plusieurs étapes. À chaque étape, certains candidats peuvent être éliminés
L'acheteur se réserve le droit d'attribuer le marché sur la base des offres initiales sans mener de négociations 5.1.10 Critères d'attribution
Critère :
Type : Prix
Description : Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères sont énoncés uniquement dans les documents du marché.
Description de la méthode à utiliser si la pondération ne peut être exprimée par des critères : Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères sont énoncés uniquement dans les documents du marché.
5.1.11 Documents de marché
Adresse des documents de marché : https://www.marchespublics.gouv.fr
5.1.12 Conditions du marché public
Conditions de soumission :
Soumission par voie électronique : Requise
Adresse de soumission : https://www.marchespublics.gouv.fr
Langues dans lesquelles les offres ou demandes de participation/candidatures peuvent être présentées : anglais, francais
Catalogue électronique : Non autorisée
Variantes : Autorisée
Date limite de réception des demandes de participation/candidatures : 31/07/2026 14:00 +02:00
Conditions du marché :
Le contrat doit être exécuté dans le cadre de programmes d'emplois protégés : Non
Facturation électronique : Autorisée
La commande en ligne sera utilisée : non
Le paiement électronique sera utilisé : non
5.1.15 Techniques
Accord-cadre :
Pas d'accord-cadre
Informations sur le système d'acquisition dynamique :
Pas de système d'acquisition dynamique
5.1.16 Informations complémentaires, médiation et recours
Organisation chargée des procédures de recours : Tribunal administratif
Description des délais d'introduction des procédures de recours : Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu'à la signature du marché. Le référé contractuel peut être introduit dans les
https://ted.europa.eu/TED
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conditions des articles L.55113 et suivants du Code de justice administrative. Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées. Organisation qui fournit des précisions concernant l'introduction des recours : Tribunal administratif
Organisation qui recoit les demandes de participation/candidatures : CEA Grenoble
8 Organisations
8.1 ORG-0001.
Nom officiel : CEA Grenoble
Numéro d'enregistrement : 77568501900298.
Adresse postale : 17 rue des Martyrs
Ville : Grenoble
Code postal : 38054.
Subdivision pays (NUTS) : Isère (FRK24)
Pays : France
Point de contact : Mme. Claire MOREAU-FLACHAT
Adresse électronique :
[email protected]
Téléphone : 06 70 81 77 91.
Adresse internet : www.cea.fr
Adresse URL pour l'échange d'informations : https://www.marches-publics.gouv.fr/entreprise Profil de l'acheteur : https://www.marches-publics.gouv.fr
Rôles de cette organisation :
Acheteur
Organisation qui recoit les demandes de participation/candidatures
8.1 ORG-0002.
Nom officiel : Tribunal administratif
Numéro d'enregistrement : 173800053.
Adresse postale : 2 Place de Verdun, Boite Postale 1135.
Ville : Grenoble Cedex
Code postal : 38022.
Subdivision pays (NUTS) : Isère (FRK24)
Pays : France
Adresse électronique :
[email protected]
Téléphone : 0476429000
Adresse internet : https://grenoble.tribunal-administratif.fr/
Rôles de cette organisation :
Organisation chargée des procédures de recours
Organisation qui fournit des précisions concernant l'introduction des recours
Informations relatives à l'avis
Identifiant/version de l'avis : d9489778-6abd-4f6f-9de3-123d8ac2bbb9 -01.
Type de formulaire : Mise en concurrence
Type d'avis : Avis de marché ou de concession - régime ordinaire
Date d'envoi de l'avis : 30/06/2026 07:49 +00:00
Langues dans lesquelles l'avis en question est officiellement disponible : francais
https://ted.europa.eu/TED
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