France: Machines et appareils microélectroniques
Fourniture d'un équipement hybride de profilométrie automatique de type ' White Light Interferometry ' (WLI)
Avis de marché ou de concession - régime ordinaire
1 Acheteur
1.1 Acheteur
Nom officiel : CEA Grenoble
Forme juridique de l'acheteur : Organisme de droit public Activité du pouvoir adjudicateur : Enseignement
2 Procédure
2.1 Procédure
Titre : Fourniture d'un équipement hybride de profilométrie automatique de type ' White Light Interferometry ' (WLI) Description : Pour ses activités de recherche, qui visent à développer les technologies FDSOI 10nm et au-delà,
le CEA-Leti souhaite faire l'acquisition pour sa salle blanche d'un profilomètre automatique hybride pour mesurer une large gamme de hauteur de marches et de rugosités de surface sur des dispositifs manufacturés au CEALeti. L'équipement intègrera la technique d'Interférométrie à Lumière blanche sur Champ complet (Full-field White Light Interferometry -WLI) afin de mesurer des larges surfaces (quelques cm²) combinée à un Microscope à Force Atomique (AFM) pour mesurer des zones de quelques µm2avec une plus haute résolution. Les deux modules de mesure (WLI et AFM) doivent pouvoir être utilisées séparément ou conjointement grâce à un software. L'équipement doit pouvoir effectuer des mesures complètement automatisées sur des wafers 300 mm, tout en ayant la capacité à charger des wafers de diamètres inférieurs et des échantillons manuellement pour la calibration ou les mesures SPC. Cet équipement travaillera dans un environnement salle blanche de classe ISO 4. Le marché envisagé comprend une option à chiffrage obligatoire et quatre options à chiffrage facultatif : -Option avec chiffrage obligatoire : Option 1 (prestation optionnelle) : Formation maintenance niveau 1 / -Option avec chiffrage facultative : Option 2 (fourniture optionnelle) : Transformateur électrique / Option 3 (prestation optionnelle) : Formation maintenance avancée / Option 4 (prestation optionnelle) : Extension de garantie d'un an supplémentaire
Identifiant de la procédure : f3cdb7f8-6ff8-4146-b6cb-8bf4430a0222.
Identifiant interne : B25-03565-CMF
Type de procédure : Négociée avec publication préalable d'un appel à la concurrence / concurrentielle avec
négociation
La procédure est accélérée : non
2.1.1 Objet
Nature du marché : Fournitures
Nomenclature principale (cpv): 31712100 Machines et appareils microélectroniques
2.1.2 Lieu d'exécution
Ville : Grenoble
Subdivision pays (NUTS) : Isère (FRK24)
Pays : France
Informations complémentaires : CEA/GRENOBLE / Conditions d'accès réglementées.
2.1.4 Informations générales
https://ted.europa.eu/TED
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Informations complémentaires : Le candidat fournira à l'appui de sa candidature : -le formulaire DC1 (Lettre de
candidature et désignation du mandataire par ses cotraitants) ou équivalent ; -le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement), ou équivalent. Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet du Ministère de l'Economie, de l'Industrie et de l'Emploi : http://www.economie.gouv.fr/daj/formulaires-declarationdu-candidat -la copie du ou des jugements prononcés s'il est en redressement judiciaire ou dans une procédure étrangère équivalente '. Le candidat peut présenter sa candidature sous la forme d'un document unique de marché européen (DUME), en lieu et place des documents mentionnés à l'article R.2143-3 du code de la commande publique téléchargeable à l'adresse suivante : https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr. Il est interdit de cumuler les
candidatures : -en tant que candidat individuel et membre d'un ou plusieurs groupements y compris en tant que mandataire ; -en tant que membre d'un groupement et mandataire d'un autre. Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d'autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de
l'expérience professionnelle du ou de leurs responsables.
Base juridique :
Directive 2014/24/UE
2.1.6 Motifs d'exclusion
Sources des motifs d'exclusion : Document de marché
5 Lot
5.1 Identifiant technique du lot : LOT-0001.
Titre : Fourniture d'un équipement automatique hybride de profilométrie de type ' WLI ' (' White Light Interferometry ' en anglais ').
Description : Pour ses activités de recherche, qui visent à développer les technologies FDSOI 10nm et au-delà,
le CEA-Leti souhaite faire l'acquisition pour sa salle blanche d'un profilomètre automatique hybride pour mesurer une large gamme de hauteur de marches et de rugosités de surface sur des dispositifs manufacturés au CEALeti. L'équipement intègrera la technique d'Interférométrie à Lumière blanche sur Champ complet (Full-field White Light Interferometry -WLI) afin de mesurer des larges surfaces (quelques cm²) combinée à un Microscope à Force Atomique (AFM) pour mesurer des zones de quelques µm2avec une plus haute résolution. Les deux modules de mesure (WLI et AFM) doivent pouvoir être utilisées séparément ou conjointement grâce à un software. L'équipement doit pouvoir effectuer des mesures complètement automatisées sur des wafers 300 mm, tout en ayant la capacité à charger des wafers de diamètres inférieurs et des échantillons manuellement pour la calibration ou les mesures SPC. Cet équipement travaillera dans un environnement salle blanche de classe ISO 4. Le marché envisagé comprend une option à chiffrage obligatoire et quatre options à chiffrage facultatif : -Option avec chiffrage obligatoire : Option 1 (prestation optionnelle) : Formation maintenance niveau 1 / -Option avec chiffrage facultative : Option 2 (fourniture optionnelle) : Transformateur électrique / Option 3 (prestation optionnelle) : Formation maintenance avancée / Option 4 (prestation optionnelle) : Extension de garantie d'un an supplémentaire
Identifiant interne : B25-03565-CMF
5.1.1 Objet
Nature du marché : Fournitures
Nomenclature principale (cpv): 31712100 Machines et appareils microélectroniques
5.1.2 Lieu d'exécution
Subdivision pays (NUTS) : Isère (FRK24)
Pays : France
Informations complémentaires :
https://ted.europa.eu/TED
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5.1.3 Durée estimée
Durée : 12 Mois
5.1.6 Informations générales
Participation réservée : La participation n'est pas réservée.
Projet de passation de marché financé en totalité ou en partie par des fonds de l'UE
Information sur les fonds de l'Union européenne
Identifiant des fonds de l'UE : FAMES -PILOT LINE
Le marché relève de l'accord sur les marchés publics (AMP) : oui
Informations complémentaires : Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d'autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l'expérience professionnelle du ou de
leurs responsables. Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://
www.marchespublics.gouv.fr
5.1.9 Critères de sélection
Sources des critères de sélection : Document de marché
Informations sur la seconde étape d'une procédure en deux étapes :
Nombre minimal de candidats à convoquer pour la seconde étape de la procédure : 3.
La procédure se déroulera en plusieurs étapes. À chaque étape, certains participants peuvent être éliminés L'acheteur se réserve le droit d'attribuer le marché sur la base des offres initiales sans mener de négociations 5.1.10 Critères d'attribution
Critère :
Type : Prix
Description de la méthode à utiliser si la pondération ne peut être exprimée par des critères : Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères sont énoncés uniquement dans les documents du marché.
5.1.11 Documents de marché
Adresse des documents de marché : https://www.marchespublics.gouv.fr
5.1.12 Conditions du marché public
Conditions de la procédure :
Date d'envoi estimée des invitations à soumissionner : 12/01/2026.
Conditions de présentation :
Présentation par voie électronique : Requise
Adresse de présentation : https://www.marchespublics.gouv.fr
Langues dans lesquelles les offres ou demandes de participation peuvent être présentées : anglais, francais Catalogue électronique : Non autorisée
Variantes : Autorisée
Date limite de réception des demandes de participation : 05/01/2026 16:00 +01:00
Conditions du marché :
Le marché doit être exécuté dans le cadre de programmes d'emplois protégés : Non
Facturation en ligne : Non autorisée
La commande en ligne sera utilisée : non
Le paiement en ligne sera utilisé : non
5.1.15 Techniques
Accord-cadre :
Pas d'accord-cadre
https://ted.europa.eu/TED
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Informations sur le système d'acquisition dynamique :
Pas de système d'acquisition dynamique
5.1.16 Informations complémentaires, médiation et réexamen
Organisation chargée des procédures de recours : Tribunal administratif
Informations relatives aux délais de recours : Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la
procédure de passation jusqu'à la signature du marché. Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.55113 et suivants du Code de justice administrative. Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.
Organisation qui fournit des précisions concernant l'introduction des recours : Tribunal administratif
Organisation qui recoit les demandes de participation : CEA Grenoble
8 Organisations
8.1 ORG-0001.
Nom officiel : CEA Grenoble
Numéro d'enregistrement : 77568501900298.
Adresse postale : 17 rue des Martyrs
Ville : Grenoble
Code postal : 38054.
Subdivision pays (NUTS) : Isère (FRK24)
Pays : France
Point de contact : Mme. Claire MOREAU-FLACHAT
Adresse électronique :
[email protected]
Téléphone : 06 70 81 77 91.
Adresse internet : www.cea.fr
Point de terminaison pour l'échange d'informations (URL) : https://www.marches-publics.gouv.fr/entreprise Profil de l'acheteur : https://www.marches-publics.gouv.fr
Rôles de cette organisation :
Acheteur
Organisation qui recoit les demandes de participation
8.1 ORG-0002.
Nom officiel : Tribunal administratif
Numéro d'enregistrement : 173800053.
Adresse postale : 2 Place de Verdun, Boite Postale 1135.
Ville : Grenoble Cedex
Code postal : 38022.
Subdivision pays (NUTS) : Isère (FRK24)
Pays : France
Adresse électronique :
[email protected]
Téléphone : 0476429000
Adresse internet : https://grenoble.tribunal-administratif.fr/
Rôles de cette organisation :
Organisation chargée des procédures de recours
Organisation qui fournit des précisions concernant l'introduction des recours
Informations relatives à l'avis
https://ted.europa.eu/TED
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Identifiant/version de l'avis : 95894395-5995-442f-a8af-51c7005563a8 -01.
Type de formulaire : Mise en concurrence
Type d'avis : Avis de marché ou de concession - régime ordinaire
Date d'envoi de l'avis : 28/11/2025 10:21 +00:00
Langues dans lesquelles l'avis en question est officiellement disponible : francais
https://ted.europa.eu/TED
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