Lien pour consultation du texte officiel du JOUE : https://ted.europa.eu/fr/notice/454099-2025/html
454099-2025 - Mise en concurrence See the notice on TED website
454099-2025
454099-2025 - Mise en concurrence
France – Machines et appareils microélectroniques – Fourniture d’un équipement de gravure par plasma 300mm
OJ S 131/2025 11/07/2025
Avis de marché ou de concession – régime ordinaire
Fournitures
1. Acheteur
1.1.
Acheteur
Nom officiel : CEA Grenoble
Adresse électronique :
[email protected]
Forme juridique de l’acheteur : Organisme de droit public
Activité du pouvoir adjudicateur : Enseignement
2. Procédure
2.1.
Procédure
Titre : Fourniture d’un équipement de gravure par plasma 300mm
Description : Pour ses activités de recherche axées sur le développement de technologies FD-SOI de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un nouvel outil de gravure par plasma afin de relever les défis technologiques à venir. L'équipement devra comporter une chambre de gravure pour les matériaux de type AlCu et TiN pour des applications FEOL et BEOL. Une chambre de stripping spécifique devra être associée à la chambre de gravure. L’équipement devra pouvoir être complété avec une chambre de gravure multi-matériaux ainsi qu’une chambre de gravure d’oxyde fin. Le marché comporte : • Des options avec chiffrage obligatoire : o Option n°1 : La fourniture d’une chambre multi-matériaux o Option n°2 : La fourniture d’une chambre oxyde de silicium o Option n°3 : La formation de maintenance premier niveau pour 4 personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges o Option n°4 : Deuxième année de garantie pour l’Equipement • Des options avec chiffrage facultatif : o Option n°5 : Fourniture d’un chiller conformément à l’article 3.2.6 du cahier des charges o Option n°6 : Fourniture d’un transformateur électrique conformément à l’article 4.1.4 du cahier des charges o Option n°7 : La formation de maintenance avancée pour 2 personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges
Identifiant de la procédure : 5df4d207-d680-4796-98bb-72bd17912944
Identifiant interne : B25-02317-AT
Type de procédure : Négociée avec publication préalable d’un appel à la concurrence / concurrentielle avec négociation
La procédure est accélérée : non
2.1.1.
Objet
Nature du marché : Fournitures
Nomenclature principale ( cpv ): 31712100 Machines et appareils microélectroniques
2.1.2.
Lieu d’exécution
Ville : Grenoble
Subdivision pays (NUTS) : Isère ( FRK24 )
Pays : France
Informations complémentaires : Présentation des candidatures : Le candidat fournira à l’ appui de sa candidature : le formulaire DC1 (Lettre de candidature et désignation du mandataire par ses cotraitants) ou équivalent ; le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement), ou équivalent. Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet du Ministère de l'Economie, de l'Industrie et de l'Emploi : http://www.economie.gouv.fr/daj/formulairesdeclarationducandidat la copie du ou des jugements prononcés s’il est en redressement judiciaire ou dans une procédure étrangère équivalente ». Le candidat peut présenter sa candidature sous la forme d’un document unique de marché européen (DUME), en lieu et place des documents mentionnés à l’article R.21433 du code de la commande publique téléchargeable à l’adresse suivante : https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr. 7/39 Il est interdit de cumuler les candidatures : en tant que candidat individuel et membre d’un ou plusieurs groupements y compris en tant que mandataire ; en tant que membre d’un groupement et mandataire d’un autre. Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables
2.1.4.
Informations générales
Base juridique :
Directive 2014/24/UE
2.1.6.
Motifs d’exclusion
Sources des motifs d'exclusion : Document de marché
5. Lot
5.1.
Lot : LOT-0001
Titre : Fourniture d’un équipement de gravure par plasma 300mm
Description : Pour ses activités de recherche axées sur le développement de technologies FD-SOI de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un nouvel outil de gravure par plasma afin de relever les défis technologiques à venir. L'équipement devra comporter une chambre de gravure pour les matériaux de type AlCu et TiN pour des applications FEOL et BEOL. Une chambre de stripping spécifique devra être associée à la chambre de gravure. L’équipement devra pouvoir être complété avec une chambre de gravure multi-matériaux ainsi qu’une chambre de gravure d’oxyde fin. Le marché comporte : • Des options avec chiffrage obligatoire : o Option n°1 : La fourniture d’une chambre multi-matériaux o Option n°2 : La fourniture d’une chambre oxyde de silicium o Option n°3 : La formation de maintenance premier niveau pour 4 personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges o Option n°4 : Deuxième année de garantie pour l’Equipement • Des options avec chiffrage facultatif : o Option n°5 : Fourniture d’un chiller conformément à l’article 3.2.6 du cahier des charges o Option n°6 : Fourniture d’un transformateur électrique conformément à l’article 4.1.4 du cahier des charges o Option n°7 : La formation de maintenance avancée pour 2 personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges
Identifiant interne : B25-02317-AT
5.1.1.
Objet
Nature du marché : Fournitures
Nomenclature principale ( cpv ): 31712100 Machines et appareils microélectroniques
5.1.2.
Lieu d’exécution
Ville : Grenoble
Subdivision pays (NUTS) : Isère ( FRK24 )
Pays : France
5.1.3.
Durée estimée
Durée : 12 Mois
5.1.6.
Informations générales
Participation réservée : La participation n’est pas réservée.
Projet de passation de marché financé en totalité ou en partie par des fonds de l’UE
Information sur les fonds de l'Union européenne
Identifiant des fonds de l’UE : FAMES - PILOT LINE
Le marché relève de l’accord sur les marchés publics (AMP) : oui
5.1.9.
Critères de sélection
Sources des critères de sélection : Document de marché
Informations sur la seconde étape d’une procédure en deux étapes :
Nombre minimal de candidats à convoquer pour la seconde étape de la procédure : 3
La procédure se déroulera en plusieurs étapes. À chaque étape, certains participants peuvent être éliminés
L’acheteur se réserve le droit d’attribuer le marché sur la base des offres initiales sans mener de négociations
5.1.10.
Critères d’attribution
Critère:
Type: Prix
Description : Le prix n'est pas le seul critère prévu. L'ensemble des critères d'attribution est énoncé dans les pièces de la consultation.
5.1.11.
Documents de marché
Adresse des documents de marché : https://www.marches-publics.gouv.fr
5.1.12.
Conditions du marché public
Conditions de présentation :
Présentation par voie électronique : Requise
Adresse de présentation : https://www.marches-publics.gouv.fr
Langues dans lesquelles les offres ou demandes de participation peuvent être présentées : anglais , français
Catalogue électronique : Non autorisée
Variantes : Autorisée
Date limite de réception des demandes de participation : 18/08/2025 18:00:00 (UTC+2) Heure de l'Europe orientale, heure d'été de l'Europe centrale
Conditions du marché :
Le marché doit être exécuté dans le cadre de programmes d’emplois protégés : Non
Facturation en ligne : Requise
La commande en ligne sera utilisée : oui
Le paiement en ligne sera utilisé : oui
5.1.15.
Techniques
Accord-cadre :
Pas d’accord-cadre
Informations sur le système d’acquisition dynamique :
Pas de système d’acquisition dynamique
Enchère électronique : non
5.1.16.
Informations complémentaires, médiation et réexamen
Organisation chargée des procédures de recours : Greffe Tribunal administratif de Grenoble
Informations relatives aux délais de recours : Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.55113 et suivants du Code de justice administrative. Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées
Organisation qui fournit des informations complémentaires sur la procédure de passation de marché : CEA Grenoble
Organisation qui fournit un accès hors ligne aux documents de marché : CEA Grenoble
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours : Greffe Tribunal administratif de Grenoble
Organisation qui reçoit les demandes de participation : CEA Grenoble
Organisation qui traite les offres : CEA Grenoble
8. Organisations
8.1.
ORG-0001
Nom officiel : CEA Grenoble
Numéro d’enregistrement : 775 685 019 00298
Adresse postale : 17 rue des Martyrs
Ville : Grenoble
Code postal : 38054
Subdivision pays (NUTS) : Isère ( FRK24 )
Pays : France
Point de contact : M. Anguéran Thirion
Adresse électronique :
[email protected]
Téléphone : 0659450565
Profil de l’acheteur : https://www.marches-publics.gouv.fr
Rôles de cette organisation :
Acheteur
Organisation qui fournit des informations complémentaires sur la procédure de passation de marché
Organisation qui fournit un accès hors ligne aux documents de marché
Organisation qui reçoit les demandes de participation
Organisation qui traite les offres
8.1.
ORG-0002
Nom officiel : Greffe Tribunal administratif de Grenoble
Numéro d’enregistrement : 173800053
Adresse postale : 2 Place de Verdun Boîte Postale 1135
Ville : Grenoble Cedex
Code postal : 38022
Subdivision pays (NUTS) : Isère ( FRK24 )
Pays : France
Adresse internet : https://grenoble.tribunaladministratif.fr/
Rôles de cette organisation :
Organisation chargée des procédures de recours
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours
8.1.
ORG-0000
Nom officiel : Publications Office of the European Union
Numéro d’enregistrement : PUBL
Ville : Luxembourg
Code postal : 2417
Subdivision pays (NUTS) : Luxembourg ( LU000 )
Pays : Luxembourg
Adresse électronique :
[email protected]
Téléphone : +352 29291
Adresse internet : https://op.europa.eu
Rôles de cette organisation :
TED eSender
Informations relatives à l’avis
Identifiant/version de l’avis : 3bc106b4-ba39-4508-9808-b6406a66c146 - 01
Type de formulaire : Mise en concurrence
Type d’avis : Avis de marché ou de concession – régime ordinaire
Sous-type d’avis : 16
Date d’envoi de l’avis : 10/07/2025 11:07:48 (UTC)
Langues dans lesquelles l’avis en question est officiellement disponible : français
Numéro de publication de l’avis : 454099-2025
Numéro de publication au JO S : 131/2025
Date de publication : 11/07/2025
